熱式氣體質量流量控制器/流量計主要應用在量程范圍從5sccm—1500slm之間氣體流量的測量和控制，采用新型傳感制作工藝，具有本體顯示、數模一體，隨意切換、多種通訊、響應速度快、準確度高、流量控制穩定、壓力范圍寬、線性度好等優點，適用于絕大多數干燥、干凈的氣體（及少數腐蝕性氣體）。

產品型號：SD-S030

更新時間：2024-11-16

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產品介紹

應用行業：真空鍍膜設備、石油化工、航空航天、醫藥制造業、火電、核電、天然氣加氣站、太陽能、液晶面板制造半導體工藝設備、化學與化工實驗設備、食品科學與工程設備、能源與環境保護設備、各種分析儀器設備表面處理、真空冶金及材料工藝、高校及科研院所實驗室設備等行業的公司

☆ 氣體質量流量控制器/流量計出廠通常用氮氣（N2）標定。
質量流量單位：SCCM（標準毫升每分鐘）、SLM（標準升每分鐘）
標準狀況：溫度--293.15K(20℃)

壓力--101325Pa（760mmHg）
F.S（Full Scale）表示滿量程

》流量計特征

--全數字構架 --更快的響應速度

--寬壓力范圍 --出色的線性度

--新型傳感制作工藝

流量規格（氮氣）	0-10sccm/10sccm-50slm
控制量程	2%-100%
精度	≤±1.0%F.S
線性	≤±0.5%F.S
重復性	≤±0.2%F.S
閥門類型	常閉閥
響應時間	1-3sec
最大耐壓	0-50Bar
通信信號	0-5V/4-20mA/Rs485
供電方式	14VDC--27VDC (300mA)
泄漏率	1×10-9atm. cc/sec He